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- MEMS加速度傳感器用于中等精度導(dǎo)航系統(tǒng)
- 來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2021/5/12
特點(diǎn)
量程從±1g 到 ±200g
長期零偏穩(wěn)定性
低整流誤差
超小型20引腳LCC陶瓷氣密性封裝
(8.9mm x 8.9mm)
適用于惡劣環(huán)境
小尺寸體積
符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)
適用于無鉛焊接過程和SMD安裝
簡介
中等精度導(dǎo)航系統(tǒng) (IMU), AHRS 和控制系統(tǒng)需要陀螺儀和加速度傳感器來預(yù)測在自由空間中的運(yùn)動物體的位置。加速度傳感器被用于執(zhí)行初始調(diào)平和糾正在移動中的陀螺漂移。在本白皮書中,我們將比較目前正處在開發(fā)中的Colibrys ±10g加速度傳感器MS9010.D 和RS9010.A的主要參數(shù),用以支持系統(tǒng)設(shè)計(jì)者,并以此作為選擇最佳加速度傳感器的準(zhǔn)則。我們將對四個主要參數(shù)進(jìn)行比較,它包括:零偏重復(fù)性,標(biāo)度因數(shù),軸對準(zhǔn)性和振動整流誤差。MS9010.D的長期零偏重復(fù)性小于5mg,通常RS9010.A樣品的第一次測量結(jié)果小于1.5mg。MS9010.D標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性可達(dá)到400ppm。RS9010.A更可達(dá)到150ppm。此外,RS9010.A的振動整流誤差有小于100μg/g2 的潛力。
考慮到不同類型的需求, Colibrys 為AHRS制造商提供了大量加速度傳感器的選擇, 從提供最佳性-價比的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品MS9010.D和MS9005.D 到將代表高性能系統(tǒng)最佳選擇的RS9010.A 。也可提供±2g和±200克之間的各種量程g。
選擇慣性加速度傳感器產(chǎn)品主要差異是零偏長期穩(wěn)定性,標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性和軸對準(zhǔn)的可重復(fù)性。這些參數(shù)之所以重要是因?yàn)槿魏屋敵鲂盘柕钠顚⒃诩蛇^程中對定位造成2倍以上的誤差。對于一個以很快的加速度飛行幾分鐘的物體,這可能轉(zhuǎn)化為一個定位上的大誤差。而且,由于發(fā)動機(jī)或其它來源的鄰近效應(yīng),在加速度傳感器被安裝的環(huán)境周圍經(jīng)常會遇到一些振動,這些振動對于傳感器輸出信號的影響被稱為振動整流誤差。對于許多應(yīng)用來說,產(chǎn)品對于外部振動具有非常低的敏感性是最為重要的。
MS9010 加速度傳感器
多年以來,Colibrys一直為中等精度導(dǎo)航系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)航姿系統(tǒng)(AHRS)的應(yīng)用提供產(chǎn)品,例如MS8010.D, 以及最近的MS9010.D和MS9005.D。
對于量程為±10g的測量,它們總的長期零偏穩(wěn)定性優(yōu)于7.5mg,對于量程±5g,優(yōu)于3.75mg,其標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性優(yōu)于400ppm。圖1顯示了對于各種量程MS9000.D的一年零偏穩(wěn)定性的測量結(jié)果。該分析結(jié)果還包括:在85°時進(jìn)行10天的加速老化實(shí)驗(yàn),這對應(yīng)于18個月的標(biāo)準(zhǔn)壽命時間,以及對加速度傳感器為期0.2毫秒,1000g的從六個方向進(jìn)行的沖擊。
MS9000已經(jīng)展現(xiàn)了其出色的抗沖擊性能以及沖擊后優(yōu)異的穩(wěn)定性。這使得該產(chǎn)品可適應(yīng)于一些對抗沖擊性有很高要求的應(yīng)用中。我們也開發(fā)了抗震性高達(dá)20’000g的專門解決方案 (HS8000 和 HS9000) 。
圖示1: 零偏穩(wěn)定性包括在85°, 1000g 撞擊下進(jìn)行10天的 加速老化實(shí)驗(yàn)(相當(dāng)于18個月的標(biāo)準(zhǔn)壽命時間)
RS9010 加速度傳感器
為了應(yīng)對新的高端需求,Colibrys目前正在開發(fā)一個新的技術(shù)平臺稱為IRIS?。它包括一個新穎的MEMS傳感元件,一個開環(huán)ASIC和一個溫度傳感器,它們被安置在一個有20個引腳的標(biāo)準(zhǔn)LCC封裝系統(tǒng)內(nèi)。RS9010.A?是被設(shè)計(jì)和制造以應(yīng)用于高精度、中等量程的航姿系統(tǒng) (AHRS) 。
圖示2: MS9010.D (LCC20: 內(nèi)部和封蓋) 和 RS9010.A (LCC20 在評估板上).
IRIS技術(shù)包含三個主要的改進(jìn):新的MEMS傳感器設(shè)計(jì),MEMS組裝技術(shù)和電子接口的改進(jìn)。新型MEMS元件是專為獲得高零偏和高標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)的。這個設(shè)計(jì)是通過了解傳感元件的物理機(jī)械性能,分析造成漂移的機(jī)制,并設(shè)計(jì)能避免這個機(jī)制的傳感器而實(shí)現(xiàn)的。IRIS?采用最新的MEMS制造技術(shù),如深層離子刻蝕技術(shù)(DRIE)和硅熔融鍵合技術(shù)(SFB)。這些技術(shù)保證了工藝的高度一致和可預(yù)測性,從而保證了高成品率和產(chǎn)品的可重復(fù)性
以下四張圖顯示了RS9010.A加速度傳感器的初步表現(xiàn)。我們可以看到,經(jīng)過沖擊和長期老化后,所有的零偏漂移包括遲滯都優(yōu)于1.5mg, 且標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性優(yōu)于150ppm. 此外,RS9010.A的振動整流誤差可比擬機(jī)電(Q-FLEX)規(guī)格。這些綜合性能使得RS9010.A成為未來的高性能航姿系統(tǒng)的最佳候選產(chǎn)品之一。
這幾張圖清楚地表明,相對于性能良好的MS9010.D產(chǎn)品,RS9010.A??是一個真正的改進(jìn)。下圖進(jìn)一步表明了在整個溫度范圍內(nèi),RS9010.A長期溫度系數(shù)的性能有所改善。這表明長期穩(wěn)定性的提高。
圖 3: 剩余偏置隨溫度而變化(經(jīng)過4階多項(xiàng)式校正之后)
包括在85℃下老化、并以1000g 沖擊10天
圖4: 剩余標(biāo)度因數(shù)隨溫度而變化 (經(jīng)過2階多項(xiàng)式校正之后) 包括溫度遲滯
圖4: 剩余標(biāo)度因數(shù)隨溫度而變化
(經(jīng)過2階多項(xiàng)式校正之后) 包括溫度遲滯
圖 5: 在整個溫度范圍的軸偏穩(wěn)定性(經(jīng)過2階多項(xiàng)式校正之后), 沖擊和加速老化
圖 5: 在整個溫度范圍的軸偏穩(wěn)定性
(經(jīng)過2階多項(xiàng)式校正之后), 沖擊和加速老化
圖6: 在20 至 500Hz 和500 至 2000 Hz 頻率范圍,RS9010.A振動整流誤差 < 100 μg/g2. 此圖形由37只不同的傳感器疊加而成
此圖形由37只不同的傳感器疊加而成
結(jié)論
Colibrys公司一直為中等精度的導(dǎo)航系統(tǒng)(IMU)和AHRS研發(fā)與提供不同的加速度傳感器設(shè)計(jì) 。
MS9010.D和MS9005.D具有約5mg的整體長期偏置穩(wěn)定性,對于一個標(biāo)準(zhǔn)的航姿系統(tǒng)表現(xiàn)了最好的性價比。例如:它們被專用于小型飛機(jī)和飛機(jī)導(dǎo)航,備份解決方案或無人駕駛飛行器(UAV)的一般輔助。這也是在沖擊和振動的惡劣環(huán)境應(yīng)用中的最佳解決方案。
無人機(jī)的例子
目前,新型的RS9010.A正在開發(fā)中,其總目標(biāo)是使長期零偏重復(fù)性達(dá)到1.5mg, 它已經(jīng)顯示出了出色的振動整流特性,在量程為10 g時,其數(shù)值低于100μg/g2。這些性能證明:對于未來高精度航姿系統(tǒng)的應(yīng)用,如無人機(jī),大型民用飛機(jī),直升機(jī)和陸軍或海軍導(dǎo)航以及中等精度低g導(dǎo)航系統(tǒng)(IMU),RS9010.A都是最佳選擇之一。
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